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現在位置: ホーム ja シラバス(2020年度) 工学研究科 航空宇宙工学専攻 電離気体工学セミナー

電離気体工学セミナー

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科目ナンバリング
  • G-ENG36 7V401 SJ71
開講年度・開講期 2020・後期
単位数 2 単位
授業形態 演習
配当学年 博士
対象学生 大学院生
使用言語 日本語
曜時限 月3
教員
  • 江利口 浩二(工学研究科 教授)
授業の概要・目的 電離気体 (プラズマ) の力学および気相・表面物性について,プラズマプロセス工学ならびに宇宙工学の分野における最近の研究の中からテーマを選び,セミナーを行う.具体的には,半導体やMEMSデバイスなどの作製にかかわるプラズマを用いた薄膜形成,表面改質,微細加工,および材料創製ならびに宇宙機の航行にかかわるプラズマ推進,宇宙機とプラズマとの相互作用,および宇宙マイクロ・ナノ技術について,最近の実験・理論研究のトピックスを中心に議論する.
到達目標 電離気体工学(プラズマ応用工学)に関する最近の研究テーマを理解し,世界最先端の高度な知識を習得する.
授業計画と内容 電離気体工学の基礎と最先端,15回
1.電離気体(プラズマ)の物理的・化学的基礎と応用に関する専門誌論文レビューと発表  
2.専門書の購読  
3.テーマを選んでの文献収集と解析および内容報告
成績評価の方法・観点 レポートやセミナー中の発表などにより評価する.
履修要件 プラズマ物理・化学,電磁気学,原子・分子物理学(分光学を含む),気相・表面反応速度論,表面界面物性学,熱統計力学,気体力学
授業外学習(予習・復習)等 指示された参考書および学術論文等を学期をかけて読み進めること.
参考書等
  • M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley, New York, 1994).